TMSシリーズ

反磁性アクティブ制御

TMSシリーズ　反磁性アクティブ制御
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特長
NMR (Nuclear Magnetic Resonance)やMRI(Magnetic Resonance Imaging)などの
核磁気共鳴装置が発生する強磁界環境でご使用いただける、反磁性体素材で
構成されたアクティブ除振ユニットです。
動作時に浮遊磁場を発生しないため電子ビーム描画装置や検査装置にも最適です。
また、重心が高い装置で安定した除振効果を得ることができます。

・5テスラまでの強磁界に対応します。
・重心の高い装置に対しても理想の除振効果が得られます。
・2Hzからの除振機能
・空気供給の必要がありません。
・フロアモーションおよびステージモーションフィードフォワード機能
・6自由度設計

性能
型式 最小荷重 最大荷重 除振 振動伝達率 振動伝達率（モーション
フィードフォワード機能)		 停止時安定性 アクチュエータ
出力
TMS 600 200kg 600kg 2Hz～ 5 Hz = -10 dB
10 Hz = -20 dB 		1 Hz = -5 dB
5 Hz = -20 dB 		± 10 μm 70N(鉛直)、140N(水平)
TMS 1500 800kg 1500kg 180N(鉛直)、360N(水平)