TCNシリーズ

アクティブ制御（空圧式）

TCNシリーズ　アクティブ制御（空圧式）
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特長
パッシブ制御システムでは実現できないレベルの除振性能（0.1Hz – 120Hz)により、 厳しい除振要求に対応しています。　
また、除振装置に搭載するテーブルの振動に 対しても効果があるため、露光装置のX-Yステージなど高精度な位置決めが 要求される設備への適用が最適です。

・6自由度アクティブ制御
・優れた除振性能（0.1Hz～）を実現
・サーボバルブによる高応答レベリング
・オートチューニング機能搭載
・フィードフォワード機能

仕様
TCN 表
振動伝達率　(X-Yステージ搭載、4台使用)
■鉛直方向　■水平方向
通常の床で外部励振無し
測定条件: 振幅< 1 μm (P-P) 除振装置空圧 400 kPa(60 psi)

TCN1 TCN2
TCN-100システム（パッシブモード）上のX-Yステージを100Nで加速/ 減速動作させたときの応答
TCN-100システム（アクティブモード）上のX-Yステージを100Nで加速/ 減速動作させたときの応答
性能

・振動伝達率:
・整定時間:
・ 自由度(D.O.F):
・システムノイズレベル:
・最大偏向:
・鉛直方向レベリング精度:
・EMIエミッション:
・空気圧(min/ max):
・空気消費量:
・定格消費電力:
・最大消費電力:

図を参照
<50msec
6
0.1Hz時100nm/√Hz, 1Hz時10nm/√Hz, 10Hz時1nm/√Hz
±1mm(0.03in.)
±300μm (MV-3レベリングユニット使用時)
< 5mG/ √Hz (P-P)
500/ 800 kPa (75/ 120 psi)
< 100Nltr./min; > 1scfm
0.4kw
0.85kw
外形一覧
TCNシリーズ
タイプ 有効荷重 kg (lbs.)
200 kPa　　600 kPa
(30 psi)　　(90 psi)		 A
mm (in.)		 B
mm (in.)		 H
mm (in.)
TCN- 25 50 (110) 150 (330) 195 (7.7) 195 (7.7) 179 (7.0)
TCN- 50 100 (220) 300 (660) 195 (7.7) 195 (7.7) 179 (7.0)
TCN- 100 220 (484) 660 (1,452) 280 (11.0) 280 (11.0) 290 (11.4)
TCN- 300 340 (748) 1000 (2,200) 280 (11.0) 280 (11.0) 290 (11.4)
TCN- 500 720 (1,584) 2100 (4,620) 330 (12.9) 350 (13.7) 305 (12.0)