除振装置･磁場キャンセラー･防音装置･半導体装置システム - ＩＤＥＷＯＲＬＤ

ROB320

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300mmウェハ、9インチレチクルや回路基板など素早く確実に取り出し、搬送する3軸スカラ型ハンドリングロボットです。
ステンレススチールを使用した耐久性の高いボディはMCBF2500万サイクルを実現、多様のアーム長など高信頼、フレキシブルに対応いたします。

・リーズナブルな価格設定
・SPAプリアライナのダイレクト制御
・半導体製造装置の安全性ガイドライン(SEMI S2-0200)対応
・FED-STD-209クラス1対応（ISO14644クラス3相当)
・幅広い荷重対応
・カスタム化対応
・セラミック、デュアルエンドエフェクター対応

・有効荷重:
・重量:
・通信方式:
・MCBF:
・静電耐圧:

2.3kg (5lbs.)
25kg (55lbs.)
RS-232C
2500万サイクル
21Kv