除振装置･磁場キャンセラー･防音装置･半導体装置システム - ＩＤＥＷＯＲＬＤ

MAXCON

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アクティブ除振制御に適用されるIDEマックスアクティブファミリー製品群です。

1.MAXCONシリーズ　アクティブ除振ユニットコントローラー


MAXCON 2000	MAXCON 5000

IDEアクティブ除振装置を制御するコントローラーです。
ＥＴＣ、ＰＴＣ、ＰＴＣＡ、ＴＣＮ、ＡＴＣ、ＴＭＳ、ＨＶＡなどの各除振装置と、機能レベルに応じて3機種の組み合わせからお選びいただけます。

コントローラ機能一覧

コントローラ型式	CPUタイプ	クロックレート	慣性フィードバック	フロアフィードフォワード	ステージフィードフォワード	電空位置決め制御
MAXCON 1000	TMS 320C31	30 MHz	○	×	×	×
MAXCON 2000	TMS 320C31	30 MHz	○	○	○	○
MAXCON 5000	Multiple TMS 320C31	50 MHz	○	○	○	○

LM10 & LM40　リニアアクチュエータ

2.リニア駆動アクチュエータ

空圧アクチュエータと併用するリニア駆動アクチュエータです。
すべてのＳＭＳ（Soft-Mounted Systems）アクティブシステムに適用されます。
XYステージなどの質量に応じたサイズを選定します。

リニア駆動アクチュエータ一覧

アクチュエータ型式	LM 10	LM 15	LM 20	LM 40	LM 80	LM 200
定格推力	10 N/Amp	15 N/Amp	20 N/Amp	40 N/Amp	100 N/Amp	200 N/Amp
最大推力 (15 % duty-cycle)	80 N	120 N	160 N	350 N	800 N	1600 N
最大推力 (100 % duty-cycle)	13 N	20 N	26 N	50N	130 N	250 N
発熱量 (100 % duty-cycle)	9.5 W	9.5 W	20 W	22 W	11 W	18 W
モータ温度 (100% duty-cycle)	80 ºC	80 ºC	80 ºC	80 ºC	80 ºC	80 ºC