LCシリーズ

パッシブ制御(空圧式)

LCシリーズ パッシブ制御(空圧式)
ホーム製品情報除振装置-LCシリーズ
特長
LCシリーズは様々な除振用途に対応するコンパクトな除振ユニットです。主に電子顕微鏡、半導体の検査装置、装置メーカ様設備へのOEM用途 などにご使用いただいております。

・既存の設備に追加し、簡単に振動対策を実現できます
・コンパクトでスリムなデザインです
・ニッケルメッキによりクリーンルーム対応
・各種レベリングオプションを準備
・筺体はダンピングオリフィスで仕切られた2チャンバー構成です。

仕様
LC表
振動伝達率 (機種:LC-500)
鉛直方向 ■水平方向
通常の床で外部励振無し
測定条件: 振幅< 1 μm (P-P) 除振装置空圧 400 kPa (60 psi)
性能
・ 鉛直方向固有振動数:
・ 水平方向固有振動数:
・ 共振による鉛直方向増幅:
・ 共振による水平方向増幅:
・ 圧縮空気ホース径:
・ 空気圧(min/ max):
・ 鉛直方向振動伝達率:
・ 水平方向振動伝達率:
・ 材質:
・ 最大偏向:
3.1Hz
4-6 Hz
< 4dB
2-10dB
1/4“ 外径
100/ 800 kPa (15/ 120 psi)
8 Hz~: -40 dB / decade
8 Hz~: -20 to -40 dB /decade
スチール筺体、ニッケルメッキ
10 mm (0.4 in.)
外形一覧

LCシリーズ


タイプ 有効荷重 kg (lbs.)
100 kPa   600 kPa
(15 psi)    (90 psi)
A
mm (in.)
B
mm (in.)
H
mm (in.)
D F
mm (in.)
G
mm (in.)
LC-10 15 (33) 50 (110) 75 (3.1) 60 (2.4) 60 (2.6) M10 7 (0.3) 70 (2.8)
LC-25 25 (55) 120 (264) 105 (4.1) 89 (3.5) 60 (2.6) M 12 7 (0.3) 105 (4.1)
LC-35 35 (77) 210 (462) 105 (4.1) 89 (3.5) 60 (2.6) M 12 7 (0.3) 105 (4.1)
LC-50 50 (110) 280 (616) 130 (5.1) 108 (4.3) 90 (3.6) M 12 7 (0.3) 125 (4.9)
LC-100 100 (220) 600 (1,320) 175 (6.9) 153 (6.0) 90 (3.6) M 12 7 (0.3) 175 (6.9)
LC-300 170 (375) 1000 (2,200) 255 (10.0) 215 (8.5) 90 (3.6) M 16 14 (0.5) 243 (9.6)
LC-500 500 (1,100) 2400 (5,280) 343 (13.5) 305 (12) 90 (3.6) M 16 14 (0.5) 333 (13)
LC-1000 1000 (2,200) 6000 (13,200) 470 (18.5) 406 (16) 90 (3.6) M 24 14 (0.5) 460 (18)