HVAシリーズ
真空対応システム
HVAは真空槽内部に設置することができる除振装置です。装置全体はアルミニウムきょう体、可動部にステンレス溶接ベローズのフレキシブルエレメントを使用した空圧マウントで構成されています。極紫外線露光装置（EUVL）などの次世代システムの環境構築にご使用いただけます。TCN同等の除振能力を持つHVAとATC同等のNGIの2機種を準備しています。
・高真空環境に対応
・固有振動数2 Hz、 減衰率10Hz時-28dB
・コンパクトサイズ
・最大荷重570 kgまで対応
・サイズ、荷重等、ご要望に応じたカストマイズ対応が可能です
| 最小荷重/ ユニット | 200 kg |
|---|---|
| 最大荷重/ ユニット | 570kg |
| 固有振動数(570kg荷重) 水平方向 鉛直方向 |
2Hz 1.6Hz |
| 除振能力 | 0.5 Hzより除振可能。10Hz時 -28dB |
| 停止時安定性 | +/- 20 µm |
| 振動レベル（荷重時） | 0.01 - 100 Hz時3mm/ sec2（標準偏差3σ）以内 |
| 推力 | X, Y, Z各方向最大 80N 連続 |
| 寸法 | 幅: 180mm 奥行: 220mm 高さ: 246mm |
| 空気消費量 | < 60nltr/min |
| 動作範囲 | X, Y, Z各方向+/- 1.5mm |
| 搬送 | 搬送時ロック機構有り |
| 供給空気・窒素ガス | 最大 600kPa 真空槽内部に金属管シールドされたエア接続が必要 |
| 電気系 | センサ、アクチュエータ用D-Subコネクタ装備 |
| 消費電力 | 装置全体400W （コントローラ含む） 除振機単体3 W （真空槽内、運転時） |
| ガス放出量（ユニット） 炭化水素 水 |
< 0.01 PaL/sec < 1 PaL/sec |
| 漏洩 | サーボバルブによる自然漏出 |
| 【真空槽内設置イメージ】 | 【接続部イメージ】 |
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