除振装置･磁場キャンセラー･防音装置･半導体装置システム - ＩＤＥ ＷＯＲＬＤ
クリーン環境下でFOUPとウェハの搬送を行うシステム
ウェハを FOUP（Front Opening Unified Pod）から取り出し、搬送ロボットにより処理装置へハンドリングを行う高性能フロントエンドシステムです。
クリーンルーム内の環境に晒すことなく実現します。装置はクリーンルーム対応のハンドリングロボットROB320, DAR（双椀ロボット),TRX リニア搬送装置、FOS300 ロードポート、それらを収めるきょう体で構成されています。
・クラス1のクリーン度対応
・高速、高精度、小フットプリント
