ATCシリーズ

高機能アクティブ（空圧式）

ATCシリーズ　高機能アクティブ
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特長
IDEアクティブ除振シリーズの中で、その機能を最大限発揮する高性能、高機能なアクティブ除振ユニットです。
他のIDEアクティブシリーズ同様、パッシブ／アクティブ除振のハイブリッド仕様です。固有振動数1mHzによる低い帯域からの除振を実現しています。

・1Hz時において-30dB以上の除振能力
・位置決め精度±1μm
・固有振動数1mHzの圧倒的なパフォーマンス
・対応荷重幅の広いワイドレンジ設計
・ご要求に応じたカスタマイズも可能です

仕様
ATC表1
振動伝達率　(機種：ATC-300を3台使用)
■鉛直方向　■水平方向
測定条件: 実験室、 振幅< 10 μm (P-P) 正弦波発生装置使用 除振装置空圧 400 kPa (60 psi)

ATC表2
各方向変位測定　(機種：ATC-300) 測定条件: 実験室、振幅< 5 μm (P-P) 環境振動
性能
・鉛直および水平方向固有振動数（パッシブ）:
・共振による増幅:
・ロールオフ特性(f > 4xf0):
・位置制御:
・整定時間:
・アクチュエータ駆動力:
・ 自由度(D.O.F):
・システムノイズレベル:
・最大偏向:
・レベリング精度（標準）:
・EMIエミッション:
・空圧条件:
・所要空気源:
・空気消費量:
・定格消費電力:
・最大消費電力:		 30mHz – 2Hz
+5dB
-30dB/Dec
電気空圧式
<50msec
リニアモータ容量による
6
0.1Hz時100nm/√Hz,　1Hz時10nm/√Hz, 10Hz時1nm/√Hz
±1mm(0.03in.)
±10μm
< 5mG/√Hz (P-P)
600 kPa(90psi)
ドライ&クリーンエアー500nm
100Nltr./min; > 1scfm
0.4kw
0.85kw
外形一覧
LCシリーズ
型式 最小荷重
kg (lbs.)		 最大荷重
kg (lbs.)		 A
mm (in.)		 B
mm (in.)		 H
mm (in.)
ATC-25 25 (55) 125 (275) 150
(5.9)		 150
(5.9)		 230
(9.1)
ATC-50 50(110) 250 (550) 180
(7.0) 		180
(7.0) 		230
(9.1)
ATC-100 100 (220) 500 (1,100) 300
(11.8) 		300
(11.8)		 230
(9.1)
ATC-300 300 (660) 1500 (3,300) 300
(11.8) 		300
(11.8)		 230
(9.1)
ATC-600 600 (1,320) 3000 (6,600) 400
(15.7) 		400
(15.7) 		230
(9.1)