AKHシリーズ
防音システム
顕微鏡や検査機を環境障害から守る騒音低減装置です。
SPM（走査型プローブ顕微鏡）やSEM（走査型電子顕微鏡）による
半導体ウェハの検査などで、環境騒音による影響を遮断することで
検査精度の向上を実現します。
また、工場などの騒音環境下での測定にもご利用いただけます。
SPM（走査型プローブ顕微鏡）やSEM（走査型電子顕微鏡）による
半導体ウェハの検査などで、環境騒音による影響を遮断することで
検査精度の向上を実現します。
また、工場などの騒音環境下での測定にもご利用いただけます。
・低周波数からの遮音性能
・高品質な作り込み
・クリーンルーム対応
・除振テーブルとの組み合わせでトータル環境対策を実現します
| 遮音性能 | ・30Hz: | 0 dB |
| ・50HZ: | -10 dB | |
| ・100Hz: | -30 dB | |
| ・200Hz: | -35 dB | |
| ・1000Hz: | -40 dB |
| 型式 | AKH1 | AKH2 | AKH3 |
| 高さ mm (in.) | 320(12.5) | 1500(59.0) | 1550(61.0) |
| 幅 mm (in.) | 480(18.8) | 1600(63.0) | 1700(66.9) |
| 奥行 mm (in.) | 480(18.8) | 1150(45.3) | 1200(47.2) |
| 質量 kg (lbs.) | 45 (100) | 450 (990) | 500(1,100) |
| ドア高さ mm (in.) | 400 (15.7) | 750 (27.5) |
